芯片原子层沉积设备,家用原子层沉积设备
原子芯片是一种设备。下面主要讨论原子层沉积的原理和化学，以及原子层沉积与其他相关技术的比较，因此，原子层沉积技术的优势得以体现，例如单原子层的连续沉积，沉积层的厚度极其均匀且一致性极佳，并且沉积速度慢的问题并不重要，拓晶科技的主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和亚大气压化学气相沉积（SACVD）设备，拥有自主知识产权，技术指标达到国际同类产品先进水平。有三个完整系列的产品:inchPECVD（等离子体化学气相沉积设备）、ALD（原子层薄膜沉积设备）和NANDP...
更新时间：2024-07-19标签： 沉积原子设备气相化学 全文阅读