Mems是随着半导体集成电路的微加工技术和超精密加工技术的发展而发展起来的。目前,mems加工技术还广泛应用于微流控芯片和合成生物学领域,以进行生化等实验室技术过程的芯片集成,对应SOC(系统芯片),将MEMS技术与微流控芯片相结合,可以制造出高集成度、高精度和高稳定性的微流控芯片。
不同的是,系统级封装采用不同的芯片并排或叠加封装,而SOC是高度集成的芯片产品。明显的区别是许多MEMS都是。微机电系统的系统优势:微机电系统是根据功能要求在芯片上集成微电路和微型机器。微流控芯片是生物医学、化学分析、过程控制等领域的重要工具,可以实现对微流体的精确操作和测量。
一些人将SIP定义为具有不同功能的多个有源电子组件和可选无源设备的组合。MEMS是通过半导体技术在硅上制作的三维结构,以形成传感器;微电子技术是在硅上制造大规模集成电路,硅是MOS管的阵列,它是平面的和二维的。所以联系是:它们都是在硅衬底上制造的,使用的半导体加工技术。自中后期兴起以来,发展非常迅速,被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事有重大影响的技术领域。