纳米工艺现在能到多少，中国纳米技术做到多少

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1，中国纳米技术做到多少
2，中国光刻机现在多少纳米
3，光刻机最先进的是多少纳米

1，中国纳米技术做到多少

中国位列世界第一。中国已成为当今世界纳米科学与技术进步的重要贡献者。在纳米技术的专利申请量方面，过去20年中国纳米专利申请量累计达209344件，占全球总量的45%。

中国纳米技术做到多少

2，中国光刻机现在多少纳米

中国光刻机现在达到了22纳米。在上海微电子技术取得突破之前，我国国产的光刻机一直停留在只能制造90nm制程的芯片。这次我国直接从90nm突破到了22nm也就意味着我国在光刻机制造的一些关键核心领域上已经实现了国产化。而自己掌握核心技术有多重要自然不言而喻，在突破关键领域以后，更高阶的光刻机的研发速度只会越来越快。国产光刻机突破封锁，成功研制22nm光刻机，中国芯正在逐渐崛起。高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。

中国光刻机现在多少纳米

3，光刻机最先进的是多少纳米

截止2022年6月，世界上最先进的光刻机已经能够加工13 纳米线条。而我们人类的头发丝直径大约是 50~70微米，也就是说，光刻可以刻画出只有头发丝直径1/5000的线条。荷兰ASML公司的极紫外光刻机（EUV）是现在全球最顶尖的光刻机设备，相较于DUV，它把193nm的短波紫外线替换成了13.5nm的极紫外线，能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸。EUV光刻机的光源来自于美国的Cymer，这个13.5nm的极紫外线其实是从193nm的短波紫外线多次反射之后得到的。光刻机的分类：光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动1、手动指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴，Y轴和thita角度来完成对准，对准精度可想而知不高了；2、半自动指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐；3、自动指的是从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。

光刻机最先进的是多少纳米