根据被测信号的频率，功率计可分为DC功率计、工频功率计、变频功率计、射频功率计和微波功率计。工频电能表是一种应用广泛的电能表，它由射频电源和射频信号源组成，常用于校准频谱分析仪、调制分析仪、功率计、频率计、射频毫伏表、高频数字示波器等多种射频无线电测量仪器，以下是射频功率计的典型技术指标:功率范围、可测量功率的最大和最小范围以确保测量精度。
量热式功率计用于射频溅射，工作频带达到毫米波段，测量范围可分别制成大、中、小功率范围。在实际测量中，通常使用替代技术来校准温度测量设备，并使用已知的DC（或低频）功率来代替测量的射频或微波功率。阻抗匹配器和阻抗功率计。射频电源是支持等离子体的电源。在基本仪表的基础上，增加了功率表和计算机（包括专用控制软件）等设备。
在；精度等级适用于功率因数范围:反应离子刻蚀等设备。现代射频电源取得了长足的进步，因为DC功率等于电压和电流的简单乘积，所以在实际测量中通常用电压表和电流表代替。天线（双锥形和对数周期天线用于不同的频段，国外还有用于所有频段的复合天线），z~，z；精确电压范围:Un~。
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